百級(jí)無塵車間設(shè)計(jì)裝修的作用及標(biāo)準(zhǔn)
百級(jí)無塵車間設(shè)計(jì)裝修的作用及標(biāo)準(zhǔn) 百級(jí)無塵車間設(shè)計(jì)裝修最主要的作用就是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度及溫度、濕度,使產(chǎn)品能夠在一個(gè)很好的環(huán)境內(nèi)生產(chǎn)和制造。而按照國(guó)際上的慣例,無塵車間設(shè)計(jì)裝修的潔凈級(jí)別主要是根據(jù)每立方米的空氣當(dāng)中粒子的直徑大于標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)量來規(guī)定的。也就是把微粒控制在一個(gè)非常小的單位上,在常規(guī)當(dāng)中就是說符合微粒的顆粒在我們常見的灰塵當(dāng)中是小的微乎其微,而對(duì)于那些生產(chǎn)上來說,哪怕一點(diǎn)點(diǎn)的,很少很少的灰塵也會(huì)產(chǎn)生很壞的負(fù)面影響的。國(guó)際上百級(jí)無塵車間設(shè)計(jì)裝修的標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下。
當(dāng)前,在芯片生產(chǎn)加工上的無塵標(biāo)準(zhǔn)的要求就是要高于A級(jí)的,像這樣的高的要求標(biāo)準(zhǔn)主要是被應(yīng)用在在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上,而業(yè)內(nèi)稱之為的1K級(jí)別的就是微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)。
百級(jí)無塵車間設(shè)計(jì)裝修進(jìn)入過濾器無塵車間人員必須穿著無塵服與無塵鞋,并嚴(yán)格按以下順序進(jìn)入過濾器無塵車間:
1、戴上無塵帽(頭發(fā)不可露出)。
2、戴上無塵口罩。
3、穿著無塵衣(拉上拉鏈后,扣好頸部頭罩)。
4、穿上無塵鞋。 C"d0j$d)|9B
5、戴上手套(衣袖口須包住手套口)。
6、著裝完成照鏡檢查服裝儀容。
7、進(jìn)入風(fēng)淋室。
8、進(jìn)入ZC風(fēng)淋室雙門互鎖后自動(dòng)吹淋,聽從風(fēng)淋室語(yǔ)音提示,擺動(dòng)身體,吹凈時(shí)間15秒。
9、在過濾器無塵車間設(shè)計(jì)裝修后,動(dòng)作宜輕緩、以免影響層流及生產(chǎn)大量微塵。
10、工廠稽查小組對(duì)過濾器無塵車間潔凈紀(jì)律,每日不定期稽查并記錄分配各班組改善。
百級(jí)無塵車間設(shè)計(jì)參數(shù) 溫度:22℃±2;濕度:55%±5;基本需要滿布FFU,做高架地板。做MAU+FFU+DC系統(tǒng)。
還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
百級(jí)無塵車間若非得用換氣次數(shù)來衡量的話 200次/h以上,百級(jí)無塵車間若是以層流風(fēng)速來說的話 >0.35 m/s,百級(jí)無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對(duì)吊頂覆蓋率的話 >50%
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