在千級(jí)無塵車間的環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)中，對(duì)大顆粒和小顆粒有著嚴(yán)格的規(guī)定，這兩種顆粒在很多方面都存在差異。

　　一、顆粒大小的界定

　　通常來說，在無塵車間的標(biāo)準(zhǔn)劃分中，大顆粒一般是指粒徑大于等于 5μm 的微粒，而小顆粒則是粒徑小于 5μm 的微粒。這一劃分界限是基于顆粒在空氣中的懸浮特性、對(duì)產(chǎn)品的污染程度以及去除難度等多種因素考慮的。

　　二、數(shù)量標(biāo)準(zhǔn)對(duì)比

　　大顆粒：在千級(jí)無塵車間標(biāo)準(zhǔn)下，每立方米空氣中大于等于 5μm 的大顆粒數(shù)量被嚴(yán)格控制在 3500 個(gè)以內(nèi)。這是因?yàn)榇箢w粒由于自身質(zhì)量相對(duì)較大，在空氣中沉降速度較快，盡管如此，一旦它們落在產(chǎn)品表面，就很容易造成物理損傷或者引入雜質(zhì)。例如，在半導(dǎo)體制造過程中，大顆?？赡軙?huì)導(dǎo)致芯片電路短路或者斷路，對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生致命的影響。

　　小顆粒：每立方米空氣中小于 5μm 的小顆粒允許數(shù)量為 350000 個(gè)以下。小顆粒數(shù)量相對(duì)較多的原因是它們更輕，在空氣中的懸浮時(shí)間更長，而且來源更為廣泛。小顆粒雖然單個(gè)的危害可能不如大顆粒那么明顯，但是由于數(shù)量較多，其累加起來的負(fù)面效應(yīng)也不容小覷。它們可能會(huì)吸附在產(chǎn)品表面，影響產(chǎn)品的光潔度或者引發(fā)化學(xué)反應(yīng)。以光學(xué)鏡片的生產(chǎn)為例，小顆粒可能會(huì)使鏡片的透明度降低、折射率發(fā)生變化。

　　三、檢測與控制難度

　　大顆粒：大顆粒由于尺寸較大，在檢測方面相對(duì)容易被發(fā)現(xiàn)。通常使用光學(xué)顯微鏡等設(shè)備就可以對(duì)其進(jìn)行計(jì)數(shù)和觀測。在控制方面，通過合理的通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、空氣過濾設(shè)備的初效過濾段可以對(duì)大顆粒進(jìn)行有效的攔截。

　　小顆粒：小顆粒檢測難度較高，需要使用高精度的粒子計(jì)數(shù)器，如激光粒子計(jì)數(shù)器才能準(zhǔn)確地檢測其數(shù)量。并且小顆粒更難控制，需要有效的中效和有效過濾器配合才能有效減少其在車間內(nèi)的數(shù)量。

　　千級(jí)無塵車間對(duì)大顆粒和小顆粒的標(biāo)準(zhǔn)差異體現(xiàn)了對(duì)車間潔凈度的精細(xì)化要求，這對(duì)于保障高精度產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量至關(guān)重要。